電子束檢測原理、磊晶檢測、半導體缺陷在PTT/mobile01評價與討論，在ptt社群跟網路上大家這樣說

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eDR7380電子束晶圓缺陷檢視系統具有領先影像品質以及通過一次測試即提供完整缺陷柏拉圖分析的功能；與其前幾代產品相比，該系統可以在檢測過程中更快地 ...

其檢測方式，是利用電子束掃描待測元件，得到二次電子成像的影像，根據影像的灰階值高低，以電腦視覺比對辨識，找出圖像中的異常點，視為電性缺陷，例如，在正電位模式下， ...

電子束檢測以聚焦電子束作為檢測源，靈敏度最高，但是檢測速度最慢，價格最高。採用電子束檢測時，入射電子束激發出二次電子，然後通過對二次電子的收集，以呈現的圖像來 ...

其检测方式，是利用电子束扫描待测元件，得到二次电子成像的影像，根据影像的灰阶值高低，以电脑视觉比对辨识，找出图像中的异常点，视为电性缺陷，例如，在正电位模式下， ...

此外，電子束檢查系統具有另一個優點，可檢測出晶圓表面下，由於表面電荷誘發灰階(surface charge induced gray level)變異造成電路的電壓對比(voltage contrast，VC)缺陷 ...

光學微影技術的曝光原理是利用光和光阻的交互作用；EBL也一樣，是. 利用電子和光阻的交互作用來曝光，EBL的光阻也一樣有分正光阻和負光阻，正光阻被. 電子束打到的地方會斷 ...

冷陰極場. 發射式電子顯微鏡之電子束是利用場發射原理發射. 出來，由於針尖細，電子束也較細，因此解析度最. 好。但是因為利用場發射原理發射之電子束的電流. 非常小，容易 ...

在電性量測部分，可透過外接電性量測設備經微小探針輸入訊號並進行量測電特性曲線；此外，亦可應用電子顯微鏡裡電子束的特性，進行相關缺陷定位應用 ...

電子束檢測技術，乃是透過電子束激發晶圓表面電子，並以電子偵測器搜集資訊、製作晶圓表面微觀影像後進行比對，判斷晶圓是否在製造過程中有產生缺陷。對於 ...