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□Intel的創辦人Gordon Moore在1965年神預測:「積體電路晶片上的電路數目,每隔18個月就會增加一倍。」積體光路是否會有相同的趨勢呢? 撰文|方程毅.
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談起半導體技術的發展,總是迴避不了「摩爾定律」──當價格不變,積體電路上可容納的 ... 目前ASML 的EUV 光刻機使用40 對蔡司鏡面構成光路,每個鏡面的反光率為70%。